整机被江成整饬得非常不错,一些小问题,都解决了,就是外观,也有封装板,整的有点像高科技光刻机一样了。
就是那种一看,就觉得这东西高端,不是随随便便整出来的。
当然,实验的结果也非常不错,在江成带领大伙继续优化调整,特别是把每一个步骤应当以什么速率,运行多少时间等工艺进行优化后,总体光刻成效是不错的。
而且通过实验性质的一次多重曝光,最终工艺最小节点达到了32n
白春华是华科院院长,对这一块还是有了解的,在亲自查看了测量参数后,双手激动的不得了,“是真的,我们的光刻机真的突破了,28n工艺,就在眼前!”
通过浸没系统,把193n激光波长整到了132n一次曝光就可以达到最小工艺45n
在经过多重曝光技术,就可以挺进32n28n制程。
易国彬也是抬着大拇指给了江成,“我就知道,你小子入主魔都微,一定能够给我们一个惊喜的,没想到这么快就看到了!”
一旁的贺明老脸一红,“易部长,您说得对,江董在光刻机领域的研究,真的是华国独一人,这一块,我是极为敬佩的!”
易国彬点点头,“行了,知道你这一次没给研发添乱,今后还是好好配合好江董吧。”
“明白的。”贺明应了声。
现如今,江成整出了浸没式光刻机,他在魔都微的地位更加牢固了。
那些股东们,怎么可能会把江成换掉?
唉,算了,做个执行者也是不错的。
江成微微笑着,“这里还是太压抑了,白院长、易部长,咱们回会议室吧。”
“嗯。”两人带着笑容点点头。
随后,又和这些研发工程师们一一握手,表达了感谢。
这才一同换去了实验服,到了魔都微的董事会会议室。
“江董,现在来看,达到28n工艺,难不难?”易国彬先问了一句,他毕竟不是专业的,虽然了解一些,但目前看到的是实现了32n艺。
江成解释道,“从45n艺到28n需要fab工厂工程师这边共同提升工艺水平,通过多重曝光的技术来实现。这个技术,实现难度不大。”
“那就好。”易国彬有些放心了。“现如今,互联网上已经传开了,咱们研发出来了28n国产光刻机,广大网民翘首以盼,我们不能让他们失望啊!”
江成微微点头,“这个我们明白的,目前我们在对这款样机进行再优化,同时已经批量采购了一批部件,届时可以供应国内外fab工厂。”
“价格要多少?”白春华问。
“目前还在做调研核算,因为样机这一块,我们是改进了数十次,成本核算这一块会困难一些。”江成道,暂时没有透露价格,“但我相信,比起阿斯麦耳的duv光刻机,还是要省钱不少的。”
白春华点点头,“那就好,验收时候,初定9月下旬,来得及吗?”
“验收没问题,我们的样机随时可以。”
“成,那我们就在国庆前给大家一个好消息!”白春华看了一眼易国彬,笑着说道。
整机验收,联盟会组织一批更专业的人,包括国内fab厂的技术代表也会过来,这样可以一起看看,这机子成不成,能不能商用上。
易国彬又问了一句,“下一步,江董有什么打算了?”
“目前来说,就是出货一批3200a型,”江成大概地说道,“明年的话,在改进这个版本的基础上,我想就euv光刻机,启动研发。”
届时,江成打算去找过一个地方。
这个魔都微,地方不够大,等浸没式光刻机大量出货的时候,整机组装厂都有些挤。
白春华高兴的道,“好,有江董在魔都微,我们相信国产的euv光刻机也会有一天研发出来!”
贺明在边上也是有些激动,这江董,是真的牛逼呀,要是他,肯定就是先把这个浸没式光刻机出货赚钱,慢慢改进就是了。
要知道现在,这光刻机整出来的已经接近和达到了高端芯片制程了呢!
现在的芯片制程22n这是浸没式光刻机通过多重曝光加上finfet技术,就可以实现。
当然,这一块主要是要看fab工厂的工艺能力了,和他们的光刻机关系虽然有,但不是特别大。
江成谦虚地道,“euv光刻机太难,我也拿捏不准,只能说是先行展开研究吧,毕竟再难,也得跨出第一步不是吗?”
“对,江董这句话说得好!”易国彬一拍桌子,热烈地道,“就是珠穆朗玛峰,不从山脚下开始走起,怎么都不可能接近甚至抵达。”
白春华也热血沸腾了起来,“江董,你放心大胆地去研发,我相信,这些股东,都会全力支持的,欧米国家,几家供出了个阿斯麦耳,我还不信了,我们华国举国之力,还供不出一个魔都微!”
众人火热的聊了一会天,后面也谈到了保密的问题。
在这一块上,江成表示将会加强管理,当然至于泄密人已经被开了,而且会有相应的处罚。
易国彬则表示安全部这边也会安排一些人进驻,防范核心技术泄密。
几人中午在魔都微吃了一顿便饭就离去了。
江成则是组织高层传达了相关要求,并让贺明和连广浩他们全力准备好验收事宜。
当天晚上,江成先行回了京都。
他要去看看家里头的两人。
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网络之上,事关浸没式光刻机的事情慢慢冷了下来,因为官方媒体一直没有给出一个正式消息,这让不少人以为这又是一次炒作。
【天大地大我最大:看吧,哪里有什么28n刻机,全都是骗人的,亏那些傻子一顿高潮。
16351153:就是,我看再给五六年,也研发不出来,就意淫吧。
大a需要icu:你们看不到吗,就那一天半导体涨了不少,今天又是大跌,嘿,他们是赚了钱买了,可苦了刚刚买入的我们这些股民,不说了,天台见……
aigreat:我就呵呵几声。
……
】
对于这些评论,在回去的高铁上,江成也就是看了看,感觉有些好笑,但又有些难受。
曾经的自己不也是那么一个少年吗?
看到这些技术突破的消息,也会高兴半天。
但等着等着,却是失望。
就像是光刻机,一直让人失望不已。
……
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